Codes et normes - Achat
IEC 62047-2:2006
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2: Méthode d'essai de traction des matériaux en couche mince
SKU: iec_006362_036441
Publié par IEC
Année de publication 2006
1.0 Edition
25 pages
détails du produit
Cette norme internationale specifie la methode pour les essais de traction des materiaux en couche mince d fune longueur et d fune largeur inferieure a 1 mm et d fune epaisseur inferieure a 10 Êm, qui sont des materiaux structurels principaux pour les systemes microelectromecaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues. Les materiaux structurels principaux pour les MEMS, les micromachines et autres dispositifs analogues comportent des caracteristiques speciales telles que des dimensions typiques de l fordre de quelques microns, une fabrication de materiau par depot, et une fabrication d feprouvettes d fessai par usinage non mecanique au moyen de la gravure et de la photolithographie. Cette norme internationale specifie la methode d fessai qui garantit une precision correspondant aux caracteristiques speciales.