ISO 23812:2009
Analyse chimique des surfaces -- Spectrométrie de masse des ions secondaires -- Méthode pour l'étalonnage de la profondeur pour le silicium à l'aide de matériaux de référence à couches delta multiples
détails du produit
Elle ne s'applique pas à la région transitoire superficielle où la vitesse de pulvérisation n'est pas en régime permanent.
Elle s'applique au silicium monocristallin, au silicium polycristallin et au silicium amorphe.