ISO/TR 22335:2007
Analyse chimique des surfaces -- Profilage en profondeur -- Mesurage de la vitesse de pulvérisation: méthode par empreinte de grille au moyen d'un profilomètre à stylet mécanique
détails du produit
L'ISO/TR 22335:2007 fournit une méthode pour convertir la durée de pulvérisation d'ions en profondeur pulvérisée dans un profil en profondeur, en supposant une vitesse de pulvérisation constante. La méthode n'a pas été conçue, ni testée, pour être utilisée avec un microscope en champ proche. Elle n'est pas applicable lorsque la surface pulvérisée est inférieure à 0,4 mm2 ou lorsque la rugosité induite par la pulvérisation est significative en comparaison de la profondeur pulvérisée à mesurer.