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IEC 63068-3:2020
Dispositifs à semiconducteurs - Critères de reconnaissance non destructifs des défauts au sein d’une plaquette homoépitaxiale de carbure de silicium pour des dispositifs d’alimentation - Partie 3 : Méthode d’essai pour les défauts à l’aide de la photoluminescence
SKU: iec_062933_108522
Publié par IEC
Année de publication 2020
1.0 Edition
51 pages
détails du produit
L’IEC 63068-3:2020 décrit les définitions et les recommandations relatives à l’utilisation de la photoluminescence pour la détection de défauts bruts au sein de plaquettes homoépitaxiales en carbure de silicium (4H-SiC) disponibles dans le commerce. De plus, le présent document donne des exemples d’images de photoluminescence et de spectres d’émission, permettant la détection et la catégorisation des défauts au sein de plaquettes homoépitaxiales en SiC.