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IEC 62047-17:2015
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 17: Méthode d'essai de renflement pour la mesure des propriétés mécaniques des couches minces
SKU: iec_021911_050906
Publié par IEC
Année de publication 2015
1.0 Edition
54 pages
détails du produit
L'IEC 62047-17:2015 spécifie la méthode permettant d'effectuer des essais de renflement sur une couche autonome bombée dans une fenêtre. Le spécimen est fabriqué avec des matériaux de couche de structure micrométrique ou nanométrique, y compris les couches en métal, céramique et polymère, pour des MEMS, des micromachines et autres. L'épaisseur du film est comprise entre 0,1 µ et 10 µ et la largeur de la fenêtre à membrane rectangulaire et carrée ainsi que le diamètre de la membrane circulaire sont compris entre 0,5 mm et 4 mm. Les essais sont effectués à température ambiante par l'application d'une pression uniformément répartie sur le spécimen de couche d'essai avec fenêtre bombée. Le module d'élasticité et la contrainte résiduelle des matériaux de la couche peuvent être déterminés avec cette méthode.