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IEC 62047-10:2011
Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS
SKU: iec_006354_045356
Publié par IEC
Année de publication 2011
1.0 Edition
22 pages
détails du produit
La CEI 62047-10:2011 spécifie une méthode d'essai de compression utilisant la technique des micro-piliers destinée à mesurer les propriétés de compression des matériaux des MEMS avec une précision et une répétabilité élevées et un effort modéré pour la fabrication des éprouvettes. La relation contrainte-déformation de compression uniaxiale d'une éprouvette est mesurée ce qui permet ainsi d'obtenir le module de compression et la limite d'élasticité. La présente norme est applicable aux matériaux métalliques, céramiques, et en polymères. Le contenu du corrigendum de février 2012 a été pris en considération dans cet exemplaire.